ウェハー移載機

用途

ウェハー検査後などウェハーをキャリアへ収納する際に自動ピッチ上昇により自動収納を可能とする。

キャリア(SEMI規格)にて水平なバッチ移載。

特徴

その他

　　・キャリア からキャリアへの移載機

　　・ピッチ変換移載機

　　　　にも対応しております。