ウェハー移載機


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用途

ウェハー検査後などウェハーをキャリアへ収納する際に自動ピッチ上昇により自動収納を可能とする。

キャリア(SEMI規格)にて水平なバッチ移載。

特徴
サイズ高さ:245mm  奥行:540mm 幅:230mm
対応ウェハー4インチ/5インチ/6インチ
安全機構非常停止、ウェハー検知、キャリア検知
電源AC100V
クリーンルーム適合
その他

  ・キャリア からキャリアへの移載機

  ・ピッチ変換移載機

    にも対応しております。