ウェハー移載機 用途ウェハー検査後などウェハーをキャリアへ収納する際に自動ピッチ上昇により自動収納を可能とする。キャリア(SEMI規格)にて水平なバッチ移載。特徴サイズ高さ:245mm 奥行:540mm 幅:230mm対応ウェハー4インチ/5インチ/6インチ安全機構非常停止、ウェハー検知、キャリア検知電源AC100Vクリーンルーム適合可その他 ・キャリア からキャリアへの移載機 ・ピッチ変換移載機 にも対応しております。